真空探針熱臺可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性（支持頻率上達(dá)67GHz），探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

　　真空探針熱臺關(guān)機(jī)操作：

　　（1）所有圓片測試完畢后，載片吸盤上沒有圓片且已回到右下角上料位置，此時(shí)可以關(guān)機(jī)。

　?。?）關(guān)閉顯微鏡照明燈開關(guān)。

　?。?）關(guān)閉自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機(jī)電源。

　?。?）關(guān)閉自動(dòng)探針臺總電源（即電源插座開關(guān)），確認(rèn)散熱風(fēng)扇處于停止?fàn)顟B(tài)。

　?。?）關(guān)閉真空閥（順時(shí)針為關(guān)）。

　?。?）關(guān)閉壓縮空氣閥（順時(shí)針為關(guān)）。

　　真空探針熱臺安全注意事項(xiàng)：

　?。?）在沒有真空或壓縮空氣（或壓力不足）的情況下嚴(yán)禁開機(jī)測試。

　?。?）為了保護(hù)設(shè)備，開機(jī)時(shí)必須先開真空和壓縮空氣閥，再開自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機(jī)電源；關(guān)機(jī)時(shí)必須先關(guān)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機(jī)電源，再關(guān)真空和壓縮空氣閥。

　　（3）打開自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機(jī)電源之前，必須確認(rèn)散熱風(fēng)扇處于轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)，不正常工作可能會(huì)燒壞主機(jī)電源。

　　（4）設(shè)備正常測試時(shí)嚴(yán)禁打開設(shè)備上的參數(shù)設(shè)置面板和操作控制面板。